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KANER系列的全氟球形濾心用於保護化學幫浦以及終端過濾濾心。可安裝於濕製程幫浦的前端,適合捕捉晶圓大顆粒碎片,以達到保護。
這些碎片容易損壞波紋管以及幫浦內的隔膜。




