各類濾心
全氟膠囊型拋棄式濾心.
KANER系列的全氟球形濾心用於保護化學幫浦以及終端過濾濾心。可安裝於濕製程幫浦的前端，適合捕捉晶圓大顆粒碎片，以達到保護。
這些碎片容易損壞波紋管以及幫浦內的隔膜。
產品資訊
- 產品資訊
- 技術規格
特性優點
- 可於高溫環境下使用
- 大孔徑確保最佳的製程流量和最小的壓降，減少停機時間、消除
昂貴泵浦損壞的風險 - 良好的流量精度，延長使用壽命，同時保持去質能力
- 簡易安裝的設計讓客戶方便安裝到現有的幫浦中，減少化學品的
滯留量
典型應用
- 半導體濕製程
- 腐蝕性化學溶劑、剝離劑
- 清潔和清洗製程
